安博电竞中国官方网站下载地址·厦大AEM采用自旋涂层电极结构实现全固态薄膜锂电池

　　微型能源作为智能微型设备的核心，保证了其在时间和空间维度上的完全自主性。然而，最先进的微型储能元件，如全固态薄膜微型电池（ASSTFBs），其直接集成受到基于真空的定型制造技术的阻碍，在制造插入式薄膜阴极的结晶过程中，不可避免的高温退火步骤（ 500 °C）会对所附微型器件产生灾难性影响，特别是在柔性集成中。在此，我们创建了一个原型结构，以确定通过非真空旋涂电极结构低温制造ASSTFB的具体可行性。结果表明，旋涂LiFePO4薄膜可实现ASSTFB的低温（≈ 45 °C）制造，并可提供高达1000 次循环的优异循环性能。重要的是，该技术具有将各种阴极复合材料集成到ASSTFB中的多功能性，因此适用于基于LiCoO2-和Li4Ti5O12-的固态化学。此外，采用这种柔性电极的ASSTFB具有出色的柔韧性，可成功集成到柔性温度敏感基底上，不会出现明显的容量衰减。旋涂协议为过高的加工温度提供了通用解决方案，并为开发片上集成电路提供了大量机会。

　　旋涂技术与溅射在a )加工温度、b )多功能性、c )灵活性方面的比较。ASSTFBs旋涂阴极的加工流程示意图，包括d ) LFP薄膜阴极的旋涂，e )溅射LiPON固体电解质，f )蒸发Li阳极。g ) 3D视图和h )制备的ASSTFBs的横截面。

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